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电感耦合等离子体质谱法测定高纯气体中痕量铝、磷、硼
研究了用电感耦合等离子体质谱(ICP—MS)测定高纯气体五氟乙烷中铝、磷、硼等杂质的分析方法.在最佳仪器条件下,通过选择合适的吸收液......
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ICP-MS: KED
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